中國目前光刻機處于怎樣的水平？

關于國產光刻機目前處于什么水平，網上的各種消息讓人搞的有點亂。一邊有人說我們的光刻機仍然處于90nm水平，一邊又有人說我們的光刻機已經處于5nm水平了，國產光刻機究竟什么水平？

國產光刻機目前什么水平

關于這個90nm和5nm水平，大部分是混淆了兩個機器，雖然這兩個機器名字只有一字之差，但是它所代表的意義就大不相同。

國產光刻機水平：目前是90nm水平，其它更加先進的仍舊處于實驗室階段，想要實現商用還需要很長一段時間。

2018年時中科院的“超分辨光刻裝備研制”通過驗收，它的光刻分辨力達到22nm，結合雙重曝光技術后，未來還可用于制造10nm級別的芯片。

但是這也是僅僅處于實驗室階段，也就是想要真正的投入商用還是需要很長一段時間。

國產蝕刻機水平：中微半導體做的蝕刻機已經達到了5nm水平，也得到了臺積電的相關認證，可以說是非常領先的。

這里大部分人就是混淆了這個光刻機和蝕刻機兩個概念，雖然它們只有一字之差，但是意義卻大不相同。全球能做頂級蝕刻機的有好幾家，而能做最頂級光刻機的只有荷蘭的ASML一家。

光刻機和蝕刻機

在芯片生產過程中，光刻機相當于在一塊晶圓上復印了一張畫的圖案（也就是芯片內部電路圖的圖案）而蝕刻機作用就是把光刻機復印的圖案進行雕刻。

相比于光刻機，蝕刻機的地位并不是非常的重要，因為全球范圍能做頂級蝕刻機的有好幾家廠商，能做頂級光刻機的只有ASML一家獨大。佳能和尼康也可以做光刻機，但是與ASML根本不是一個級別的。

可以說在芯片生產過程中，光刻機相當于一個人體的頭部起著控制作用，而蝕刻機只能說是人體的四肢。腦部有選擇性，它可以不用你這個四肢，也就是換用其它家的頂級蝕刻機，而光刻機就獨此一家。

能不能拆解復制光刻機

筆者前段時間在刷短視頻時，刷到了三星西安工廠訂購的ASML光刻機在西安國際機場進行卸貨，下面都在評論說直接給它扣下來用于拆解復制。

其實這是一個非常愚蠢至極想法，它不僅僅影響的我們國家的國際影響，也讓其它國家不再敢和我們進行合作。

并且三星西安工廠主要是生產內存顆粒，它用的光刻機并不是荷蘭ASML生產的頂級光刻機，扣下來也做不了頂級芯片。也可以這么去說，就算你把它扣下來，雖然機器在我們手上，但是和廢鐵并沒有什么兩樣。

這種機器都安裝了各種保護，高精度的電子陀螺儀，一旦機器出現移動以及有拆解動作就會遠程自動鎖機。想要解鎖只能去找廠商人員進行解決，也需要重新調試。

這一點在一些高端進口機床上也是如此，機器想要移動位置，必須提前進行報備，由廠家工程師進行解決。如果自己未經廠商允許移動了位置，只會是被鎖機。

結語

光刻機所需要的核心部件都是全球頂級廠商提供，這些部件很多我們國內水平是達不到的。例如光刻機的鏡頭，是由德國的蔡司公司提供，需要經過幾十年甚至上百年的技術積累沉淀。

而我們在光刻機領域仍需要進行努力，加大科研投入，重視人才，集體合心，仍舊會取得重要突破。

這里也要說一下，并不是90nm光刻機就什么也用不了。很多芯片仍舊需要它來進行加工，例如手機上的藍牙芯片、射頻芯片、功放芯片、電源管理芯片等，以及日常所用的路由器芯片、各種電器驅動芯片等需要用到這種光刻機。

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