請問多晶硅中pn結是怎樣形成的?
我暈,多晶硅就是多晶硅,摻雜時候(比如離子注入)雜質是進不去的,所以不管是n管還是p管的poly是完全一樣的,沒有你說的什么結的影響,只是poly電阻較大,如果是距離比較長的話,也不會用于做導線。 補充一下,業界常說,要構成MOSFET就是poly over diffusion,摻雜只對diffusion,poly不受影響
請問多晶硅中pn結是怎樣形成的?
我暈,多晶硅就是多晶硅,摻雜時候(比如離子注入)雜質是進不去的,所以不管是n管還是p管的poly是完全一樣的,沒有你說的什么結的影響,只是poly電阻較大,如果是距離比較長的話,也不會用于做導線。 補充一下,業界常說,要構成MOSFET就是poly over diffusion,摻雜只對diffusion,poly不受影響