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蒸發鍍膜與其他沉積方法相比的優缺點

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林子帆2年前17瀏覽0評論

蒸發鍍膜與其他沉積方法相比的優缺點？

蒸發鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質和不易熱分解的化合物膜。 為沉積高純單晶膜層，可采用分子束外延方法。